一种用于介质材料平坦化的抛光液

摘要

本发明公开了一种用于介质材料平坦化的抛光液，其含有磨料，抛光促进剂，表面活性剂和多元脂肪醇。本发明的抛光方法可以减弱或防止在使用过程的干燥结块等问题，降低设备对保湿的要求，并具有较高的二氧化硅去除速率和较好的表面污染物指标。

主权项

一种抛光液在提高二氧化硅/多晶硅选择比中的应用，其中，所述抛光液含有磨料，抛光促进剂，表面活性剂和多元脂肪醇，其中所述的抛光促进剂为电解质，所述的电解质选自强酸强碱盐、强酸弱碱盐、弱酸弱碱盐和/或弱酸强碱盐中的一种或多种，所述的抛光促进剂的质量百分含量为0.1～2％，所述的磨料为二氧化硅，所述的磨料的质量百分含量为5～40％，所述的表面活性剂为非离子表面活性剂和/或阳离子表面活性剂，所述的非离子表面活性剂的质量百分含量为0.01～1％，所述的阳离子表面活性剂的浓度为50～1000ppm，所述的多元脂肪醇选自丙三醇、丁二醇、乙二醇、二乙二醇、丙二醇、已二醇、木糖醇和/或山梨糖醇中的一种或多种，所述的多元脂肪醇的质量百分含量为0.1％～10％。