| 发明名称 | 平衡式MEMS类型惯性角传感器及用于使此类传感器平衡的方法 | ||
| 摘要 | MEMS类型的惯性角传感器，包括：至少两个质块(2)的支承件(1)，这些质块被安装成能相对于支承件移动；至少一个静电致动器(3)；以及至少一个静电检测器(4)。这些质块(2)被悬挂在框架(6)中，该框架(6)本身通过悬挂装置连接到支承件。致动器和检测器被设计成分别产生和检测这些质块的振动。用于使此类传感器平衡的方法，该传感器提供有至少一个负载检测器以及至少一个静电弹簧(8)，至少一个负载检测器被安装在框架和支承件之间，并且至少一个静电弹簧被放置在框架和质块之一之间并根据负载传感器的测量信号被役使以便确保该传感器的动态平衡。 | ||
| 申请公布号 | CN103998894A | 申请公布日期 | 2014.08.20 |
| 申请号 | CN201280059912.5 | 申请日期 | 2012.12.03 |
| 申请人 | 萨甘安全防护公司 | 发明人 | A·金洛伊 |
| 分类号 | G01C19/574(2006.01)I | 主分类号 | G01C19/574(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人 | 罗婷婷 |
| 主权项 | MEMS类型的振动式惯性角传感器，包括：至少两个质块(1)的支承件(1)，所述质块被安装成能相对于所述支承件移动；以及被设计成分别产生和检测所述质块的振动的至少一个静电致动器(3)和至少一个静电检测器(4)，其特征在于，所述质块被悬挂在框架(6)中，所述框架(6)本身通过悬挂装置连接到所述支承件。 | ||
| 地址 | 法国布洛涅-比扬古 | ||