发明名称 一种防干燥液供给系统及涂布设备
摘要 本发明提供了一种防干燥液供给系统和一种涂布设备。所述防干燥液供给系统,包括第一通路、第二通路、与所述第一通路连接的第一防干燥槽、与所述第二通路连接的第二防干燥槽、连通所述第一通路和第二通路的第三通路、以及与所述第一通路和第二通路连接的流量控制单元。其中,所述第一防干燥槽和第二防干燥槽用于盛放防干燥液,所述流量控制单元用于控制所述第一通路和所述第二通路交替导通。所述涂布设备还包括与所述第一防干燥槽对应设置的第一喷吐头、与所述第二防干燥槽对应设置的第二喷吐头。本发明的防干燥液供给系统和涂布设备,能在保证提高产能的同时,实现对两个防干燥槽进行加液,从而对暂不工作的喷吐头进行保养。
申请公布号 CN103995368A 申请公布日期 2014.08.20
申请号 CN201410038743.8 申请日期 2014.01.27
申请人 成都天马微电子有限公司;天马微电子股份有限公司 发明人 段乐乐;陈崔军
分类号 G02F1/13(2006.01)I 主分类号 G02F1/13(2006.01)I
代理机构 代理人
主权项 一种防干燥液供给系统,所述系统包括第一通路、第二通路、与所述第一通路连接的第一防干燥槽、与所述第二通路连接的第二防干燥槽、连通所述第一通路和第二通路的第三通路、以及与所述第一通路和第二通路连接的流量控制单元,其中,所述第一防干燥槽和第二防干燥槽用于盛放防干燥液,所述流量控制单元用于控制所述第一通路和所述第二通路交替导通。
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