一种金刚石线切割硅棒的切割工艺

摘要

本发明公开了一种金刚石线切割硅棒的切割工艺，采用多线切割机切割，含以下步骤：配制切削液，粘棒，上料，切割预热，切割和下料等工序，并设置切割时的各项参数，可以将各种类型的硅棒切割成所需要的尺寸的硅片，该切割工艺能有效提高切割硅片的生产效率，提高切割能力，降低切割消耗和磨损量，降低切割成本。

主权项

一种金刚石线切割硅棒的切割工艺，采用多线切割机切割，其特征是含以下步骤：（1） 配制切削液，取切割液和纯水混匀，获得切削液，置于多线切割机的机床冷却缸中备用；（2）粘棒  根据硅棒的晶向将硅棒进行粘结；（3）上料  把粘结好的硅棒置于多线切割机上，固定，下降到适合切割线切割高度，打开切削液供给，关闭多线切割机切割工作舱舱门；（4）切割预热 切割前将切削液在切割工作舱内充分循环，将切割线以400~750m/min的速度作往复运行；（5） 切割  采用直径为0.1~0.14mm的金刚石线作为切割线，调节切割线的预加张力为14~20N，线速度为400~800m/min，切割速度为0.2~1mm/min，调节切削液的流量为100~120 L/min，切削液的温度为20~30℃，对硅棒进行切割；（6）下料 切割完毕后，关闭切削液供给，打开切割工作舱舱门，将切割后的硅片取出，并对切割后的硅片进行后续处理。