一种氧化锆和氧化钇混合物陶瓷靶材的制备方法

摘要

本发明涉及一种氧化锆和氧化钇混合物陶瓷靶材的制备方法，包括依次进行的步骤如下：将ZrO₂颗粒与Y₂O₃颗粒混合物采用ZrO₂研磨球进行球磨混合，球磨混合后的混合粉料的粒径为10nm~100nm；对混合粉料进行冷等静压成型，获得混合物陶瓷靶材的毛坯；将毛坯进行高温烧结，获得混合物陶瓷靶材的素坯；对素坯进行机械加工，获得混合物陶瓷靶材。本发明通过采用成分和ZrO₂颗粒与Y₂O₃颗粒混合物的成分基本相同的ZrO₂研磨球进行球磨混合，混合粉料中杂质的进入减少，纯度提高，且混合粉料细，混合均匀；另外，采用冷等静压的方式获得的毛坯表面光滑且致密度高；本发明的制备方法操作简单，生产成本低，生产效率高。

主权项

一种氧化锆和氧化钇混合物陶瓷靶材的制备方法，其特征在于：包括依次进行的步骤如下：（1）、将纯度均大于99.9%的ZrO₂颗粒与Y₂O₃颗粒混合物采用ZrO₂研磨球进行球磨混合，其中，所述的ZrO₂颗粒占所述的混合物的质量分数为92%~94%，所述的Y₂O₃颗粒占所述的混合物的质量分数为6%~8%，球磨混合后的混合粉料的粒径为10 nm ~100nm；（2）、对所述的混合粉料进行冷等静压成型，获得混合物陶瓷靶材的毛坯，所述的毛坯的体积密度为3.8 g/cm³~4.1 g/cm³；（3）、将所述的毛坯进行高温烧结，获得混合物陶瓷靶材的素坯；（4）、对所述的素坯进行机械加工，获得体积密度为5.2 g/cm³~5.4 g/cm³的所述混合物陶瓷靶材。