高纯砷生产还原反应器

摘要

高纯砷生产还原反应器，涉及一种半导体基础材料高纯砷的上产用还原反应设备。包括升华段、反应段、产品段，所述升华段、反应段、产品段依次密封连接且相互连通，升华段的开始端设置进气口，在产品段的末端设置出气口，出气口通过管道连接至尾气瓶，升华段、反应段、产品段分别包括炉体，在各炉体外分别由内而外设置炉瓦、保温层，在炉瓦内设置炉丝，在相邻两个炉体的连接处分别设置活动保温套，在升华段的炉体内设置三氧化二铝陶瓷舟，在产品段炉体的内壁上设置石英瓦，在反应段的炉体内设置螺旋设置的盘管反应器。通过在反应段设置螺旋石英盘管，使得反应形成边长，还原反应更为充分，可有效保障还原转化率，使得白砷全部还原成单质砷。

主权项

高纯砷生产还原反应器，其特征在于包括升华段、反应段、产品段，所述升华段、反应段、产品段依次密封连接且相互连通，所述升华段的开始端设置进气口，在所述产品段的末端设置出气口，所述出气口通过管道连接至尾气瓶，所述升华段、反应段、产品段分别包括炉体，在所述各炉体外分别由内而外设置炉瓦、保温层，在所述炉瓦内设置炉丝，在所述相邻两个炉体的连接处分别设置活动保温套，在所述升华段的炉体内设置三氧化二铝陶瓷舟，在所述产品段炉体的内壁上设置石英瓦，在所述反应段的炉体内设置螺旋设置的盘管反应器。