| 发明名称 | 真空镀膜的加热装置 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种真空镀膜的加热装置，包括若干个通过支架（3）与真空镀膜箱体（1）内壁连接的加热治具（2），所述加热治具（2）包括与支架（3）一端连接的反射板（4）、设置于反射板（4）前侧的可开启的挡板（6）以及设置于挡板（6）与反射板（4）两者之间的加热器（5），所述反射板（4）内侧表面设有凹凸结构，反射板（4）两端通过连接板（7）与挡板（6）两端连接，本发明布置灵活，便于安装，解决了受热不均，加热效率慢和加热结束后和镀膜的时候镀膜源发出的金属蒸汽沉积到加热器表面的问题。 | ||
| 申请公布号 | CN103993270A | 申请公布日期 | 2014.08.20 |
| 申请号 | CN201410220290.0 | 申请日期 | 2014.05.22 |
| 申请人 | 无锡启晖光电科技有限公司 | 发明人 | 王朝阳;郭磊;周佳 |
| 分类号 | C23C14/24(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/24(2006.01)I |
| 代理机构 | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人 | 张惠忠 |
| 主权项 | 一种真空镀膜的加热装置，其特征在于：包括若干个通过支架（3）与真空镀膜箱体（1）内壁连接的加热治具（2），所述每个加热治具（2）包括与支架（3）一端连接的反射板（4）、设置于反射板（4）前侧的可开启的挡板（6）以及设置于挡板（6）与反射板（4）两者之间的加热器（5），所述反射板（4）内侧表面设有凹凸结构，反射板（4）两端通过连接板（7）与挡板（6）两端连接。 | ||
| 地址 | 214174 江苏省无锡市惠山区无锡惠山经济开发区堰桥配套区堰棉路88号 | ||