| 发明名称 | 制造多晶硅的方法 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种制造多晶硅的方法。根据本发明，可以防止在硅棒的生长过程中发生熔融，并且能够以最小的能耗短期内制造具有较大直径的多晶体硅棒。 | ||
| 申请公布号 | CN103998657A | 申请公布日期 | 2014.08.20 |
| 申请号 | CN201280062655.0 | 申请日期 | 2012.09.26 |
| 申请人 | 韩化石油化学株式会社 | 发明人 | 柳贤澈;朴济城;李东昊;金恩贞;安贵龙;朴成殷 |
| 分类号 | C30B28/14(2006.01)I;B01J19/24(2006.01)I | 主分类号 | C30B28/14(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京金信立方知识产权代理有限公司 11225 | 代理人 | 朱梅;严彩霞 |
| 主权项 | 一种制造多晶硅的方法，包括以下步骤：在设置有热硅棒的反应器中使包含二氯硅烷和三氯硅烷的原料气体与还原气体反应以在硅棒上沉积多晶硅；和在多晶硅的沉积步骤中根据反应进程调节包含在原料气体中的二氯硅烷与三氯硅烷的摩尔比。 | ||
| 地址 | 韩国首尔 | ||