| 发明名称 |
ТЕСТОВЫЙ ОБЪЕКТ ДЛЯ КАЛИБРОВКИ АТОМНО-СИЛОВЫХ МИКРОСКОПОВ |
| 摘要 |
Тестовый объект для калибровки атомно-силовых микроскопов (АСМ), выполненный в виде рельефной кремниевой структуры с элементами рельефа, имеющими трапециевидную форму с постоянным острым углом между боковой гранью и плоскостью нижнего основания, отличающийся тем, что содержит элементы рельефа с различными известными высотами. |
| 申请公布号 |
RU2013105855(A) |
申请公布日期 |
2014.08.20 |
| 申请号 |
RU20130105855 |
申请日期 |
2013.02.13 |
| 申请人 |
Открытое акционерное общество "Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума" (ОАО "НИЦПВ") |
发明人 |
Гавриленко Валерий Петрович;Ермакова Марина Александровна;Заблоцкий Алексей Васильевич;Кузин Артур Азатович;Кузин Александр Юрьевич;Тодуа Павел Андреевич;Шаронов Виктор Анатольевич |
| 分类号 |
G01B3/00 |
主分类号 |
G01B3/00 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
