螺接式陶瓷环定位用销

摘要

螺接式陶瓷环定位用销，为了解决铝制加热盘外缘所镶嵌的陶瓷环无固定而偏移的技术问题，而在陶瓷环圆周上，通过螺纹连接的方式，均匀固定三个或多个陶瓷定位销，来实现对陶瓷环在圆周或是径向的定位。上述陶瓷环镶嵌在铝制加热盘的外缘，在加热盘凸台面靠外侧处，加工有安装槽，在安装槽内，有一螺纹孔，内部镶嵌一丝套。将定位销上的沉头螺钉安装孔对准加热盘上的螺钉孔，让陶瓷定位销的内表面与加热盘凹槽内表面贴合，用螺钉固定到一起，调整好陶瓷定位销上表面的水平状态后拧紧。本发明可以在原有加热盘的基础上进行改进，在能实现原有加热盘功能外，还可以避免因铝盘裸露而导致的打火现象，解决了陶瓷环的偏移，可广泛用于半导体镀膜设备之中。

主权项

一种螺接式陶瓷环定位用销，包括陶瓷环，其特征在于：在陶瓷环圆周上，通过螺纹连接的方式，均匀固定三个或多个定位销，来实现对陶瓷环在圆周或是径向的定位。