谐振式法布里-珀罗光纤传感器及制造和气压检测方法

摘要

本发明提供了一种谐振式法布里-珀罗光纤传感器，包括传感器体以及贯穿传感器体的通孔；通孔的一端贴设有用于传感待测气压的石墨烯薄膜；另一端设有贯穿至通孔内并与通孔适配的传输光纤。本发明的谐振式法布里-珀罗光纤传感器，通过气体对石墨烯薄膜的阻尼引起石墨烯薄膜谐振频率的变化计算气体气压；因此无需密封的法布里-珀罗腔，降低了制作难度；而且用谐振替代原有测量薄膜形变量进而测量气压，有效降低了膜片反复形变导致的薄膜材料蠕变；而且传感器检测后输出的是经探测光转换的数字式频率信号，相比干涉传感器的光波信号更加便于结果分析；而且通过单根传输光纤进行激发和探测，可实现远程气压测量，大大提高了传感器的适用性。

主权项

一种谐振式法布里‑珀罗光纤传感器，其特征在于，包括传感器体以及贯穿该传感器体的通孔；所述通孔的一端贴设有用于传感待测气压的石墨烯薄膜；所述通孔内还设有从该通孔的另一端贯穿至该通孔内并与该通孔适配的传输光纤。