一种基于压电陶瓷对直线电机直线度的在线补偿装置

摘要

本发明是一种基于压电陶瓷对直线电机直线度在线补偿装置，直线电机导轨安装在直线电机基座上，两块直线电机限位挡板分别安装在直线电机导轨的两端，直线电机滑块安装在直线电机导轨上，并在直线电机导轨上滑动，压电陶瓷块安装在直线电机滑块上，直线电机工作台安装在压电陶瓷块上；激光感应器安装在直线电机工作台的一端面上，接收激光发射器发出的激光束，激光发射器安装在与激光感应器同侧的直线电机限位挡板上，且激光发射器的安装位置为当直线电机工作台在垂直方向上失去直线度时，激光发射器发出的激光束能照射到激光感应器上。本发明实现直线电机在垂直方向上直线度实时检测及在线补偿，提高直线电机在工作中的直线度和可靠性，响应速度快,精度高。

主权项

一种基于压电陶瓷对直线电机直线度的在线补偿装置，其特征在于包括有直线电机基座（1）、直线电机导轨（2）、直线电机滑块（3）、压电陶瓷块(4)、直线电机工作台（5）、激光感应器(6)、激光发射器（7）、直线电机限位挡板（8）,其中直线电机导轨（2）安装在直线电机基座（1）上，两块直线电机限位挡板（8）分别安装在直线电机导轨（2）的两端，直线电机滑块（3）安装在直线电机导轨（2）上，并在直线电机导轨（2）上滑动，压电陶瓷块(4)安装在直线电机滑块（3）上，直线电机工作台（5）安装在压电陶瓷块(4)上；激光感应器（6）安装在直线电机工作台（5）的一端面上，用以接收激光发射器（7）发出的激光束（9）信号，激光发射器（7）安装在与激光感应器（6）同侧的直线电机限位挡板（8）上，且激光发射器（7）的安装位置为当直线电机工作台（5）在垂直方向上失去直线度时，激光发射器（7）发出的激光束（9）能照射到激光感应器（6）上。