一种用于CCD调制传递函数测试的设备及其测试方法

摘要

一种用于CCD调制传递函数测试的设备及其测试方法涉及CCD成像质量检测领域，该设备包括卤素灯光源室、单色仪、积分球装置、分划板部、大数值孔径显微物镜装置、CCD三维调整架和待测CCD。本发明利用单色仪与积分球输出均匀的单色光，并经过大数值孔径显微物镜成像，将特定空间频率的分划板成像到CCD成像电子学系统的光敏面上，根据图像采集得到的黑白条纹的数码值进而计算出CCD调制传递函数。本发明使用白光及各谱段单色光对CCD调制传递函数进行评价，能够对不同景物通过CCD后的成像质量进行全面分析评价；利用步进电机对分划板及CCD进行多维调节，减轻了CCD调制传递函数测试的工作量；结构紧凑，操作方便简单。

主权项

一种用于CCD调制传递函数测试的设备，包括卤素灯光源室（1）、单色仪（2）、积分球装置（3）、分划板部（4）、大数值孔径显微物镜装置（5）、CCD三维调整架（6）和待测CCD（7）；其特征在于，卤素灯光源室（1）通过过渡板用螺钉与单色仪（2）连接，单色仪（2）通过过渡筒与积分球装置（3）连接；分划板部（4）安放在积分球装置（3）的后面，且分划板部（4）中的分划板（4‑2）的中心正对积分球装置（3）中积分球（3‑2）的球心；大数值孔径显微物镜装置（5）中的大数值孔径显微物镜（5‑3）安放在距离分划板（4‑2）50mm处，且分划板（4‑2）的中心在大数值孔径显微物镜（5‑3）的光轴上；通过调整CCD三维调整架（6）使得待测CCD（7）的光敏面位于大数值孔径显微物镜（5‑3）的焦点位置。