一种三色探测器

摘要

本发明三色探测器属于多光谱探测器技术，涉及对现有紫外/红外双色和短波红外/中波红外双波段探测器的进一步改进和开拓。本发明三色探测器包括一个宝石窗口[1]、窗口支架[2]、紫外光敏芯片[3]、短波红外光敏芯片[4]、中波红外光敏芯片[7]和基座[8]。其中，紧贴基座[8]的上表面是中波红外光敏芯片[7]，垂直于基座固定有低高不等的两对光敏芯片支架[6]，分别装配上与中波红外光敏芯片[7]平行的短波红外光敏芯片[4]和紫外光敏芯片[3]，在短波红外光敏芯片[4]下表面生长有中波红外带通滤光膜[5]。本发明探测器的抗干扰能力强，生产设备和工艺简单，成品率高，成本低，可靠性好。

主权项

一种三色探测器，包括窗口[1]、窗口支架[2]、光敏芯片支架[6]和基座[8]，其中，窗口[1]设置在窗口支架[2]上，窗口支架[2]设置在基座[8]上，光敏芯片支架[6]位于窗口支架[2]内，并设置在基座[8]上，其特征在于：所述光敏芯片支架[6]包括内支架和外支架，其中，内支架套在外支架内，并比外支架低，且三个工作波段相异的光敏芯片分别设置在内支架内的基座表面、内支架上端以及外支架上端，三种光敏芯片相互平行且其光敏元上下垂直对应。