发明名称 |
真空镀膜设备的真空度量测装置 |
摘要 |
本发明有关于一种真空镀膜设备的真空度量测装置,包含有一真空计及一开关阀,开关阀安装于真空镀膜设备的一真空腔体且与真空计连接在一起,当开关阀开启时,真空腔体与真空计之间相互连通,使真空计能藉由量测气体的物理性质而换算出真空腔体内的真空度,当开关阀关闭时,真空腔体内与真空计之间互不相通,使真空计能够减少接触到化学腐蚀气体的机会,以达到延长维修周期及使用寿命的目的,同时便于维修操作。 |
申请公布号 |
CN103993264A |
申请公布日期 |
2014.08.20 |
申请号 |
CN201310053618.X |
申请日期 |
2013.02.19 |
申请人 |
生阳新材料科技(宁波)有限公司 |
发明人 |
黄世壬;孟良;黎胜;赖文波;任常宝;赵子铭;陈官璧;曾昭隆 |
分类号 |
C23C14/24(2006.01)I |
主分类号 |
C23C14/24(2006.01)I |
代理机构 |
广东国欣律师事务所 44221 |
代理人 |
李文 |
主权项 |
一种真空镀膜设备的真空度量测装置,其特征在于,该真空镀膜设备具有一真空腔体,该真空腔体具有一贯穿内、外壁面的安装孔,该真空度量测装置包含有:至少一真空计;以及至少一开关阀,安装于该真空腔体的安装孔且位于该真空腔体的外壁面,该开关阀连接该真空计且具有一通道,当该开关阀开启时,该真空腔体与该真空计之间经由该通道相互连通,当该开关阀关闭时,该真空腔体与该真空计之间互不相通。 |
地址 |
315000 浙江省宁波市镇海区环城北路56号 |