具有虚拟测量功能的制造执行系统与制造系统

摘要

本发明是一种具有虚拟测量功能的制造执行系统与制造系统。此制造执行系统是建立在一中介软件(Middleware)配置上，例如：对象请求中介者(Object RequestBroker)，并包含有机台监控器(Equipment Manager)、虚拟测量系统、统计工序管制系统(Statistical Process Control；SPC)、警报管理器和程序机(Scheduler)等。此制造系统包含：第一工序机台、第二工序机台、测量机台、前述的制造执行系统、第一批次至批次(Run-to-Run；R2R)控制器、和第二批次至批次控制器。

主权项

一种具有虚拟测量功能的制造执行系统，其是建立在一中介软件配置上，其中该具有虚拟测量功能的制造执行系统包含：一机台监控器，用以传送来自一工序机台的多组工序参数数据和来自一测量机台的一抽样工件的一实际测量值，其中这些组工序参数数据分别用以处理位于一卡匣内的多个工件，该抽样工件选自该卡匣内的这些工件其中之一；一虚拟测量系统，用以根据这些组工序参数数据来计算出每一这些工件的一第一虚拟测量值与其伴随的信心指标值、整体相似度指标值、工序数据质量指标值，其中该虚拟测量系统根据该第一虚拟测量值伴随的信心指标值、整体相似度指标值和工序数据质量指标值来检查是否有至少一异常警报，该虚拟测量系统并根据这些组工序参数数据和该实际测量值来计算出该卡匣内的每一这些工件的一第二虚拟测量值；一统计工序管制系统，用以根据每一这些工件的该第一虚拟测量值来对每一这些工件的品质进行检视一警报管理器，用以接收并显示该异常警报：以及一程序机，用以根据该实际测量值和每一这些工件的该第二虚拟测量值来选择一生产工序的最佳路线。