发明名称 |
光学元件之制造及包含其之模组;FABRICATION OF OPTICAL ELEMENTS AND MODULES INCORPORATING THE SAME |
摘要 |
制造一晶圆级间隔件/光学器件结构包含使用一单一复制工具将光学复制元件及间隔件复制区段直接复制于一光学器件晶圆(或其他晶圆)上。该复制光学元件及间隔件元件可由相同或不同材料组成。 |
申请公布号 |
TW201432918 |
申请公布日期 |
2014.08.16 |
申请号 |
TW102146751 |
申请日期 |
2013.12.17 |
申请人 |
海特根微光学公司 |
发明人 |
古柏瑟 赛门;卡普兹 哈康 |
分类号 |
H01L31/0203(2014.01);H01L33/48(2010.01) |
主分类号 |
H01L31/0203(2014.01) |
代理机构 |
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代理人 |
<name>陈长文</name> |
主权项 |
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地址 |
HEPTAGON MICRO OPTICS PTE. LTD. 新加坡 |