离子植入装置及使用其的方法;ION IMPLANT APPARATUS AND METHOD OF USING THE SAME

摘要

提供一种离子植入装置,所述离子植入装置经配置以测量所述装置中的元件的温度或监控所述元件的降级。所述离子植入装置可包含:压板,经配置以在第一方向上移动;罩幕框架,用于固持设置在所述压板上的至少一个罩幕;第一光学感测器,经配置以将光束投射到第二光学感测器;以及设置在所述罩幕框架上的测量杆,所述测量杆在所述罩幕框架的表面上方凸起,以在所述压板在所述第一方向上移动时中断所述光束。