感光性树脂组成物、光阻层合体及其之硬化物;PHOTOSENSITIVE RESIN COMPOSITION, MULTI-LAYER BODY USING THE RESIN COMPOSITION AND CURED PRODUCT THEREOF

摘要

本发明系以提供藉由微影术，可形成在垂直侧壁形状下具有微细解像度、低应力、耐湿热性之图像的感光性环氧树脂组成物、及/或其光阻层合体、以及此等硬化物为目的。本发明为含有(A)环氧树脂、(B)特定结构之多元醇化合物、(C)光阳离子聚合引发剂、及(D)含有环氧基之矽烷化合物的感光性树脂组成物，该(A)环氧树脂为含有藉由下述式(1);所示酚衍生物与表卤代醇之反应而得之环氧树脂(a)、及下述式(2);所示环氧树脂(b)之感光性树脂组成物。