光谱控制系统;SPECTRAL CONTROL SYSTEM

摘要

本发明系关于控制照明之光谱属性之一种系统及方法。根据各种实施例，阻断包含照明光谱之一排除选择之照明之一部分，同时沿一照明路径导引包含照明光谱之一传输选择之照明之另一部分。在一些实施例中，使用光谱控制照明来执行光学度量衡以提高量测能力。例如，使用照明之光谱属性分析一样品之不同部分，诸如可根据与该样品之经分析部分相关联之特定量测特性选择不同半导体层。