用于光学检测、磁场和高度映射之装置及方法;APPARATUS AND METHOD FOR OPTICAL INSPECTION, MAGNETIC FIELD AND HEIGHT MAPPING

摘要

本发明揭示一种经组态以提供一工件之目视检测、三维磁场映射及高度量测之计量系统。一载台经组态以将该工件处之所关注点置于用于量测之所要工具下。光场、磁场及高度资讯可独立地或一起使用以便使该工件之制造程序中之缺陷相关。提供本摘要以遵守需要将允许一搜寻者或其他读者快速确定技术揭示内容之标的物之一摘要的规则。本摘要系在其并非将用以解释或限制申请专利范围之范畴或含义的理解下提交的。