用于精确局部温度测量的具有嵌入式热阻器的感测器;SENSOR WITH AN EMBEDDED THERMISTOR FOR PRECISE LOCAL TEMPERATURE MEASUREMENT

摘要

本发明提供一种用于微机电系统(MicroElectroMechanical System，MEMS)装置的电阻式温度感测器(热阻器)，其提供MEMS感测器及其它MEMS装置的局部温度，以便进行温度补偿。该感测器及其它装置的局部精确温度可用于此些感测器或装置的温度补偿。藉由并入该热阻器结构于一MEMS装置之中，可以感测及测量相邻于该装置之结构层的精确温度或是感测及测量该装置之结构层内的精确温度。于其中一实施例中，该热阻器被定位在该主要装置的数微米内。