| 发明名称 |
微影装置及方法;LITHOGRAPHIC APPARATUS AND METHOD |
| 摘要 |
一种诸如一夹具之支撑件，其经组态以可释放地固持诸如一光罩之一图案化器件，以紧固该图案化器件且防止该图案化器件之热诱发性变形。举例而言，一种静电夹具包括：一第一基板，其具有对置之第一表面及第二表面；复数个瘤节，其位于该第一表面上且经组态以接触该光罩；一第二基板，其具有对置之第一表面及第二表面。该第二基板之该第一表面耦接至该第一基板之该第二表面。复数个冷却元件位于该第二基板之该第一表面与该第一基板之该第二表面之间。该等冷却元件经组态以造成电子自该第一基板之该第二表面行进至该第二基板之该第一表面。每一冷却元件系与一各别瘤节实质上对准。 |
| 申请公布号 |
TW201432392 |
申请公布日期 |
2014.08.16 |
| 申请号 |
TW103104148 |
申请日期 |
2014.02.07 |
| 申请人 |
ＡＳＭＬ控股公司 |
发明人 |
狄 波多 珊蒂雅坷Ｅ;里普森 马修;韩德森 肯尼斯;拉法瑞 雷孟德 威黑墨斯 路易斯;马克亚 路易斯 约翰;优特迪克 塔莫;费尔莫默朗 约翰内斯 佩特鲁斯 马丁努斯 伯纳德斯;德 葛路特 安东尼司 法兰西斯科司 乔汉尼司;凡 德 威克 郎诺 |
| 分类号 |
G03F7/20(2006.01) |
主分类号 |
G03F7/20(2006.01) |
| 代理机构 |
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代理人 |
<name>林嘉兴</name> |
| 主权项 |
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| 地址 |
ASML HOLDING N.V. 荷兰 |
