使用雷射脉冲倍增器之半导体检测和计量系统;SEMICONDUCTOR INSPECTION AND METROLOGY SYSTEM USING LASER PULSE MULTIPLIER

摘要

本发明揭示一种脉冲倍增器,其包含一分束器及一或多个镜。该分束器接收一系列输入雷射脉冲且将各脉冲之能量之部分引导至一环形腔中。在围绕该环形腔循环之后,该脉冲能量之部分透过该分束器离开该环形腔且该能量之部分经再循环。藉由选择环形腔光学路径长度,可使一输出系列之雷射脉冲之重复速率成为输入重复速率之一倍数。可藉由选取该分束器之传输及反射系数来控制输出脉冲之相对能量。此脉冲倍增器可花费不多地降低每脉冲之峰値功率同时在具有最小总功率损耗之情况下增加每秒之脉冲数目。