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发明名称 SYSTEM AND METHOD FOR DEPOSITION OF A MATERIAL ON A SUBSTRATE
摘要 <p>A METHOD AND APPARATUS FOR IMPROVING COATING OF A SUBSTRATE (40) .</p>
申请公布号 MY152144(A) 申请公布日期 2014.08.15
申请号 MY2008PI05323 申请日期 2007.05.23
申请人 FIRST SOLAR, INC. 发明人 MALTBY, MICHAEL G.
分类号 C23C16/44 主分类号 C23C16/44
代理机构 代理人
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