| 摘要 |
<p>Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung einer selektiven Emitterstruktur (8) auf einer Nutzseite (3) einer Solarzelle (1), wobei die Emitterstruktur (8) eine dotierte Emitterschicht (4) und mehrere auf der Emitterschicht angeordnete Kontaktelemente (5), insbesondere Kontaktfinger, aufweist, und wobei die Emitterschicht (4) im Bereich unterhalb der Kontaktelemente (5) mit einer höheren Dotierung versehen ist als im Bereich zwischen den Kontaktelementen (5). Folgende Schritte sind vorgesehen: a) Bereitstellen der Solarzelle (1) mit einer insgesamt dotierten Emitterschicht, b) Herstellen der Kontaktelemente (5) auf der Emitterschicht (4), und c) verringern der Dotierung der Emitterschicht (4) im Bereich zwischen den Kontaktelementen (5) durch ätzende Bearbeitung der gesamten Nutzseite (3) der Solarzelle (1). Ferner betrifft die Erfindung eine Vorrichtung sowie eine Solarzelle.</p> |
