Lichtmodulations-Steuerungsverfahren, Steuerprogramm, Steuervorrichtung und Laserstrahl-Bestrahlungsvorrichtung

摘要

Bei der Steuerung von Lichtkondensationsbestrahlung von Laserlicht unter Verwendung eines räumlichen Lichtmodulators werden die Anzahl von Wellenlängen des Laserlichts, ein Wert jeder Wellenlänge und Einfallsbedingungen des Laserlichts erfasst (Schritt S101), die Anzahl der Lichtkondensationspunkte und eine Lichtkondensationsposition, eine Wellenlänge und eine Lichtkondensationsintensität auf jedem Lichtkondensationspunkt werden eingestellt (S104), und ein Lichtkondensations-Steuerungsmuster, das für das Laserlicht vorzusehen ist, wird für jeden Lichtkondensationspunkt eingestellt (S107). Dann wird ein in dem räumlichen Lichtmodulator darzubietendes Modulationsmuster unter Berücksichtigung des Lichtkondensationssteuerungsmusters entworfen (S108). Weiter wird beim Entwurf eines Modulationsmusters ein Entwurfsverfahren verwendet, das sich auf einen Effekt durch einen Phasenwert eines Pixels richtet, und bei der Auswertung des Lichtkondensationszustands am Lichtkondensationspunkt wird eine Ausbreitungsfunktion verwendet, zu der ein Phasenmuster addiert wird, das entgegengesetzt zu dem Lichtkondensations-Steuerungsmuster ist. Dadurch sind ein Lichtmodulations-Steuerungsverfahren, ein Programm, eine Vorrichtung und eine Laserlicht-Bestrahlungsvorrichtung erreicht, die in der Lage sind, vorzugsweise Kondensationssteuerung von Laserlicht zu erreichen.