发明名称 |
一种旋转手臂的定位装置 |
摘要 |
本实用新型提供一种旋转手臂的定位装置,所述旋转手臂装置包括底座,连接于所述底座上方的旋转滚筒,以及连接于所述旋转滚筒上方的旋转手臂,所述定位装置包括套设于所述旋转滚筒底部的圆形卡盘装置,所述圆形卡盘装置的外侧边缘设有三个卡槽,以及设置于所述底座上方的探测装置,所述探测装置通过伸缩实现与所述圆形卡盘装置的外切或与所述卡槽的卡合。本实用新型的旋转手臂的定位装置根据旋转手臂传递的角度,做了更精确设计。用三个卡槽和一个带滚轮的探测装置与系统软件配合,能及时反应出现偏差的问题,及时做出调整,实现精准定位,避免0°偏移问题的出现,有效保护生产设备不受损坏。 |
申请公布号 |
CN203774274U |
申请公布日期 |
2014.08.13 |
申请号 |
CN201420155021.6 |
申请日期 |
2014.04.01 |
申请人 |
中芯国际集成电路制造(北京)有限公司 |
发明人 |
杨艳全 |
分类号 |
H01L21/68(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/68(2006.01)I |
代理机构 |
上海光华专利事务所 31219 |
代理人 |
李仪萍 |
主权项 |
一种旋转手臂的定位装置,所述旋转手臂装置包括底座,连接于所述底座上方的旋转滚筒,以及连接于所述旋转滚筒上方的旋转手臂,其特征在于,所述定位装置包括套设于所述旋转滚筒底部的圆形卡盘装置,所述圆形卡盘装置的外侧边缘设有三个卡槽,以及设置于所述底座上方的探测装置,所述探测装置通过伸缩实现与所述圆形卡盘装置的外切或与所述卡槽的卡合。 |
地址 |
100176 北京市大兴区经济技术开发区(亦庄)文昌大道18号 |