多区驱动的惯性压电马达装置及扫描探针显微镜和控制法

摘要

本发明涉及一种多区驱动的惯性压电马达装置及扫描探针显微镜和控制法,其装置包括滑块、基座、弹簧片、导轨，还包括两个或两个以上的压电体；其多区驱动的惯性压电马达装置制成的扫描探针显微镜是：增设支架，该支架固定于基座上，该支架的一部分正对着所述导轨的导向方向；其多区驱动的惯性压电马达装置的控制方法是，压电体集团中各压电体配备的惯性压电马达驱动电路都同步输出同向推动的惯性压电马达驱动信号；其扫描探针显微镜进行粗逼近控制方法是，压电体集团中各压电体配备的专用惯性压电马达驱动电路都同步输出同向推动的惯性压电马达驱动信号。

主权项

一种多区驱动的惯性压电马达装置，包括滑块、基座、弹簧片、导轨，其特征是还包括多个压电体，所述多个压电体按照形变方向一致且独立施加电压的结构固定在一起，形成压电体集团，该压电体集团的一端固定于基座上，另一端为自由形变端，所述导轨固定于该自由形变端且其导向方向与所述压电体集团形变方向一致，所述弹簧片施加垂直于该压电体集团形变方向的正压力将滑块弹性地压于导轨上，滑块和导轨之间能相对滑动，所述压电体集团中的各个压电体都配备一个专用的惯性压电马达驱动电路与之相连。