一种改进监视系统的有效面积法测量孔径光阑面积的装置

摘要

本发明一种改进监视系统的有效面积法测量孔径光阑面积的装置，涉及高精度测量光阑面积领域，解决了监视测量结果不准确的技术问题；本发明包括hene激光器、可变光阑A、光束分离器、可变光阑B和可变光阑C、x-y平移台、监视系统和探测系统；所述探测系统包括积分球a和探测器a，探测器a安装在积分球a上，所述hene激光器、可变光阑A、光束分离器、可变光阑B、孔径光阑和探测系统的积分球从左至右依次排列，并且其中心在同一水平线上；本发明的监测系统与探测系统结构相同、型号相同、收集光束的方法相同，能够精准检测激光光束的稳定性，保证了监测结果的准确性。

主权项

一种改进监视系统的有效面积法测量孔径光阑面积的装置，包括光源系统、分光系统、平移系统、探测系统和监视系统；所述光源系统包括hene激光器(1)；所述分光系统包括可变光阑A(2)、光束分离器(3)、可变光阑B(4)和可变光阑C(9)，所述平移系统为x‑y平移台(5)，所述孔径光阑(6)在x‑y平移台上，所述探测系统包括积分球a(7)和探测器a(8)，探测器a(8)安装在积分球a(7)上，hene激光器(1)、可变光阑A(2)、光束分离器(3)、可变光阑B(4)、孔径光阑(6)和探测系统的积分球a(7)从左至右依次排列，并且其中心在同一水平线上；其特征在于，所述监视系统包括积分球b(11)和探测器b(12)，探测器b(12)安装在积分球b(11)上；由hene激光器(1)输出的光束通过可变光阑A(2)射入光束分离器(3)，光束分离器(3)将光束分成能量相同的两束光，一束光通过可变光阑B(4)射入探测系统，另一束光通过可变光阑C(9)射入监视系统。