反射式光学隔离器及采用该反射式光学隔离器的激光加工设备

摘要

本发明公开一种反射式光学隔离器及采用该反射式光学隔离器的激光加工设备，该反射式光学隔离器包括沿光轴方向依次排列的双折射晶体、第一半波片、合束整形透镜组、光学隔离模块、第二半波片以及90度相位延迟镜，双折射晶体用于将P偏振光与S偏振光进行分离，第一半波片以及第二半波片用于对线偏振的偏振方向进行旋转，合束整形透镜组用于将两束P偏振光进行合束整形成一束P偏振光；光学隔离模块包括多个以布鲁斯特角设置的硒化锌平面镜片，用于折射P偏振光，并且反射S偏振光；90度相位延迟镜用于将线偏振光转换为圆偏振光。上述反射式光学隔离器可延长激光器的使用寿命，提高激光加工设备的加工品质及良品率。

主权项

一种反射式光学隔离器，其特征在于，包括沿光轴方向依次排列的双折射晶体、第一半波片、合束整形透镜组、光学隔离模块、第二半波片以及90度相位延迟镜，所述双折射晶体用于将P偏振光与S偏振光进行分离，所述第一半波片以及所述第二半波片用于对线偏振的偏振方向进行旋转，所述合束整形透镜组用于将两束所述P偏振光进行合束整形成一束P偏振光；所述光学隔离模块包括多个以布鲁斯特角设置的硒化锌平面镜片，用于折射所述P偏振光，并且反射所述S偏振光；所述90度相位延迟镜用于将线偏振光转换为圆偏振光。