一种Zn/ZnO复合发光材料的制备方法

摘要

本发明公开了一种复合空心结构材料的制备方法，具体是指一种无机材料锌/氧化锌发光材料的制备方法。本发明采用热丝化学气相沉积法，将一定量的ZnO粉为源材料置于石英舟中，石英舟位于钨灯丝下方一定距离处，在离源材料下方一定距离处放置镀金硅衬底，抽真空后进行高温加热，再通入氢气并保温，在降温后在衬底上所得产物为Zn/ZnO复合发光材料。本发明的优点：工艺可控性强，易操作，成本低，制得的产物纯度高。本发明所制备的产品在半导体、照明行业具有广泛的用途。

主权项

一种Zn/ZnO复合发光材料的制备方法，其特征在于包括下述步骤：(1)以ZnO粉为原料，置于石英舟中，石英舟位于钨灯丝下方1cm处，在离源材料下方2cm处放置镀金硅衬底；然后把石英舟置于炉中，并将炉进行密封；所述的炉为热丝化学气相沉积炉；(2)对炉内进行抽真空，直到炉内气压达到‑0.1MPa，关闭抽真空装置，通入惰性气体氩气，当炉内压力达到一个大气压时，开启抽真空装置，再次将炉内气压抽至‑0.1MPa；上述抽真空过程至少重复操作4次；(3)完成步骤(2)，抽完真空后，对炉进行加热，直至升温至950～1050℃，通入100sccm氢气，保温5～10分钟；(4)然后将炉自然降温到室温，取出衬底，衬底上所得产物为Zn/ZnO复合发光材料。