| 发明名称 | 波纹结构二氧化钒薄膜及其制备方法 | ||
| 摘要 | 波纹结构二氧化钒薄膜及其制备方法，本发明涉及二氧化钒薄膜及其制备方法。本发明是要解决现有的VO<sub>2</sub>薄膜在可见光区的透过率低的技术问题，本发明的波纹结构二氧化钒薄膜，由基片和附着在基片表面的二氧化钒层组成，其中二氧化钒层的表面形貌呈波纹状。制法：一、利用射频磁控溅射方法在基片表面制备V<sub>2</sub>O<sub>5</sub>薄膜；二、热处理使V<sub>2</sub>O<sub>5</sub>转变成VO<sub>2</sub>薄膜；三、离子束溅射自组装，得到波纹结构的VO<sub>2</sub>薄膜。本发明的波纹结构二氧化钒薄膜在见光透过率最高接近70％，可作为智能窗使用，而且薄膜具有重复率高，方法简单的特点，适合工业化生产。 | ||
| 申请公布号 | CN103981501A | 申请公布日期 | 2014.08.13 |
| 申请号 | CN201410230674.0 | 申请日期 | 2014.05.28 |
| 申请人 | 哈尔滨工业大学 | 发明人 | 王锐;张昱屾;吴晓宏;李杨;仇兆忠 |
| 分类号 | C23C14/35(2006.01)I;C23C14/08(2006.01)I;C23C14/58(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/35(2006.01)I |
| 代理机构 | 哈尔滨市文洋专利代理事务所(普通合伙) 23210 | 代理人 | 王艳萍 |
| 主权项 | 一种波纹结构二氧化钒薄膜，其特征在于该薄膜由基片和附着在基底表面的二氧化钒层组成，其中二氧化钒层的表面形貌呈波纹状。 | ||
| 地址 | 150001 黑龙江省哈尔滨市南岗区西大直街92号 | ||