| 发明名称 | 柔性屏制成方法及玻璃基板剥离方法 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种柔性屏制成方法及玻璃基板剥离方法，包括如下步骤：第一步、在玻璃基板上涂布一层聚酰亚胺，然后在聚酰亚胺上制作低温多晶硅、有机层，最后进行薄膜封装；第二步、将制作好的器件用氢氟酸溶液处理；第三步、处理后的器件清理掉氢氟酸溶液残留；第四步、烘干器件。综上所述，本发明的柔性屏制成方法及玻璃基板剥离方法具有以下优点：（1）工艺流程简单；（2）不会影响聚酰亚胺层与LTPS之间的粘合度；（3）节拍快，成本低。 | ||
| 申请公布号 | CN103985824A | 申请公布日期 | 2014.08.13 |
| 申请号 | CN201410142458.0 | 申请日期 | 2014.04.10 |
| 申请人 | 四川虹视显示技术有限公司 | 发明人 | 魏靖明;魏锋;杨海浪;任海 |
| 分类号 | H01L51/56(2006.01)I;H01L21/77(2006.01)I | 主分类号 | H01L51/56(2006.01)I |
| 代理机构 | 成都宏顺专利代理事务所(普通合伙) 51227 | 代理人 | 周永宏 |
| 主权项 | 一种柔性屏制成方法及玻璃基板剥离方法，其特征在于，包括如下步骤：第一步、在玻璃基板上涂布一层聚酰亚胺，然后在聚酰亚胺上制作低温多晶硅、有机层，最后进行薄膜封装；第二步、将制作好的器件用氢氟酸溶液处理；第三步、处理后的器件清理掉氢氟酸溶液残留；第四步、烘干器件。 | ||
| 地址 | 611731 四川省成都市高新区(西区)科新西街168号 | ||