| 发明名称 | 在线表征 | ||
| 摘要 | 提供了一种装置，所述装置包括：热隔离的待测器件，第一和第二电压被顺序施加到该热隔离的待测器件；局部加热元件，用于在分别顺序施加所述第一和第二电压期间基本同时地将第一和第二温度传递给所述待测器件；以及温度感测单元，用于测量所述待测器件的温度。 | ||
| 申请公布号 | CN102549734B | 申请公布日期 | 2014.08.13 |
| 申请号 | CN201080040765.8 | 申请日期 | 2010.09.13 |
| 申请人 | 国际商业机器公司 | 发明人 | P-C·王;T-H·丁;M·I·尤努斯 |
| 分类号 | H01L21/66(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/66(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京市中咨律师事务所 11247 | 代理人 | 于静;张亚非 |
| 主权项 | 一种执行待测器件的在线测试的装置，包括：热隔离的待测器件，第一和第二电压被顺序施加到该热隔离的待测器件；局部加热元件，用于在分别顺序施加所述第一和第二电压期间同时地将第一和第二温度传递给所述待测器件；温度感测单元，用于测量所述待测器件的温度；围绕所述待测器件并为所述待测器件提供隔热的隔热沟槽；以及布置在所述隔热沟槽的外部的基准器件，其中所述待测器件和所述基准器件并联地与差分放大器相连。 | ||
| 地址 | 美国纽约 | ||