发明名称 |
玻璃基板的搬运装置及搬运方法 |
摘要 |
本发明提供一种玻璃基板的搬运装置及搬运方法。玻璃基板的搬运装置(1)具备通过把持纵向姿态的玻璃基板(G)中的上缘部(U)来悬挂支承玻璃基板(G)的多个把持机构(10)、(11),并将由把持机构(10)、(11)悬挂支承的玻璃基板(G)在沿着上缘部(U)的搬运方向T上搬运,其中,将多个把持机构(10)、(11)中的、至少一个把持机构设为位置及/或姿态在水平面上可变的可动把持机构(10)。 |
申请公布号 |
CN103988291A |
申请公布日期 |
2014.08.13 |
申请号 |
CN201380004232.8 |
申请日期 |
2013.01.11 |
申请人 |
日本电气硝子株式会社 |
发明人 |
田川广行;塚田将夫;佐伯彰久;三成泰纪 |
分类号 |
H01L21/677(2006.01)I;B65G49/06(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/677(2006.01)I |
代理机构 |
中科专利商标代理有限责任公司 11021 |
代理人 |
刘影娜 |
主权项 |
一种玻璃基板的搬运装置,该玻璃基板的搬运装置具备通过把持纵向姿态的玻璃基板中的上缘部来悬挂支承该玻璃基板的多个把持机构,并将由该把持机构悬挂支承的所述玻璃基板在沿着所述上缘部的搬运方向上搬运,所述玻璃基板的搬运装置的特征在于,所述多个把持机构中的、至少一个把持机构是位置及/或姿态在水平面上可变的可动把持机构。 |
地址 |
日本国滋贺县 |