发明名称 包括穿孔箔片的3DIC 封装件
摘要 本发明涉及一种包括穿孔箔片的3DIC封装件,该结构包括热界面材料和穿孔箔片(PFS),该PFS包括位于其中的穿通开口,其中,PFS的第一部分嵌在热界面材料中。热界面材料的上层在PFS上方,而热界面材料的下层在PFS下方。热界面材料填充PFS中的穿通开口。
申请公布号 CN103985679A 申请公布日期 2014.08.13
申请号 CN201310188070.X 申请日期 2013.05.20
申请人 台湾积体电路制造股份有限公司 发明人 洪文兴
分类号 H01L23/367(2006.01)I 主分类号 H01L23/367(2006.01)I
代理机构 北京德恒律治知识产权代理有限公司 11409 代理人 章社杲;孙征
主权项 一种结构,包括:热界面材料;以及穿孔箔片(PFS),包括位于其中的穿通开口,所述PFS的第一部分嵌在所述热界面材料中,其中,所述热界面材料层的上层位于所述PFS上方,所述热界面材料的下层位于所述PFS下方,并且所述热界面材料填充所述PFS中的所述穿通开口。
地址 中国台湾新竹