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一种基于区域几何同构和电学同构加速哑金属填充方法，其特征在于，包括：线网电学特性计算；所述线网电学特性计算包括：从物理版图提取包含寄生元器件的电路网表；通过电路仿真对现有物理版图设计下电路进行瞬态分析；确定线网n的信号频率、电平、电流；对瞬态分析结果进行分析，确定线网n上每一电路节点的延时极限和电路节点的等效电学信息；根据每一电路节点的延时极限和电路节点的等效电学信息确定每一电路节点承载的冗余哑金属填充给线网引入的极限寄生电容；确定每一线网单位长度承载的额外寄生电容；物理版图区域划分；所述物理版图区域划分包括：层次划分；区域划分；确定区域内图形的电学特性；根据所述物理版图区域划分的结果进行区域内图形几何同构和根据所述线网电学特性计算的结果进行区域内电学同构；所述根据所述物理版图区域划分的结果进行区域内图形几何同构和根据所述线网电学特性计算的结果进行区域内电学同构包括：区域原点的确定；区域内图形点的坐标变换；区域内图形的排序；区域内图形几何同构；区域内图形电学同构；构造区域同构序列，记录同构区域之间的几何变换关系；以每一区域同构序列中的第一个区域构造待填充区域序列；所述区域之间电学同构是：对于几何同构的区域，依据匹配图形之间的映射关系，判断对应匹配的金属集合图形之间其电学特性是否相同，若相同，则这两个区域之间电学同构；将同构的区域进行优化填充；所述将同构的区域进行优化填充包括：计算区域内每一线网可以承载的冗余哑金属填充给线网引入的极限寄生电容：将区域内指定线网长度与该线网允许的单位长度引入的寄生电容极限的乘积为区域内该线网可以承载的冗余哑金属填充给线网引入的极限寄生电容；以区域内对应线网可以承载的额外寄生电容为上限作为约束条件优化填充哑金属确保化学机械抛光的平整性；将上述区域填充进行复用，以进一步对同构的区域进行填充。 |
