| 发明名称 | 用于在真空室内固定反应器的托架 | ||
| 摘要 | 本发明提供了一种被构造用于在真空室（1）内固定反应器，尤其是PECVD反应器的托架。该托架（10）包括由至少两根彼此相对布置的外梁（11）和多根横梁（12）构成的框架，其中外梁（11）和横梁（12）形成隔室（13），在隔室中设置温度控制元件。根据本发明的托架（10）具有减轻的重量并可节省生产成本。 | ||
| 申请公布号 | CN102803556B | 申请公布日期 | 2014.08.13 |
| 申请号 | CN201180006134.9 | 申请日期 | 2011.01.12 |
| 申请人 | 东电电子太阳能股份公司 | 发明人 | 爱德华·伊利尼奇;安德烈亚斯·迈尔 |
| 分类号 | C23C16/458(2006.01)I;C23C16/46(2006.01)I | 主分类号 | C23C16/458(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京科龙寰宇知识产权代理有限责任公司 11139 | 代理人 | 孙皓晨;姚卫华 |
| 主权项 | 一种真空室，其中所述真空室(1)包括一个或多个托架(10)，所述托架被构造为用于在真空室(1)内固定反应器，所述托架(10)包括框架，所述框架由至少两根彼此相对布置的外梁(11)和多根横梁(12)构成，其中：所述外梁(11)和所述横梁(12)形成隔室(13)，在所述隔室(13)内设置有温度控制元件；所述框架具有≥1m<sup>2</sup>的尺寸；所述温度控制元件包括两个平行板，所述两个平行板在所述外梁(11)和所述横梁(12)之间延伸并且于所述外梁(11)和所述横梁(12)处对其外侧加以密封，并且所述两个平行板具有入口和出口，所述入口和出口用于引导温度控制介质通过；当设有多个托架(10)时，所述多个托架(10)被设置为连接至多根柱(18)并且形成托架(10)的堆叠结构(17)。 | ||
| 地址 | 瑞士特吕巴赫 | ||