发明名称 位于包含氧化物层的结构体中的键合界面的稳定化方法及所得结构体
摘要 本发明涉及一种位于下述结构体中的键合界面的稳定化方法,所述结构体应用于电子学、光学和/或光电子学领域,并包含在活性层和受体衬底之间的隐埋氧化物层,所述键合界面通过分子粘附获得。根据本发明,所述方法要包括用由激光提供的光能流照射所述结构体,以使导向所述结构体的光能流由能量转化层吸收并在该层中转化为热,并且该热朝向键合界面扩散到所述结构体中,从而使所述键合界面稳定化。
申请公布号 CN103988285A 申请公布日期 2014.08.13
申请号 CN201280059753.9 申请日期 2012.12.13
申请人 索泰克公司 发明人 迪迪埃·朗德吕;C·大卫;约努茨·拉杜;L·卡佩罗;Y·斯奎因
分类号 H01L21/20(2006.01)I 主分类号 H01L21/20(2006.01)I
代理机构 北京三友知识产权代理有限公司 11127 代理人 庞东成;解延雷
主权项 一种位于结构体(4)中的键合界面(3)的稳定化方法,所述结构体(4)应用于电子学、光学和/或光电子学领域,且所述结构体(4)包含在活性层(14)和受体衬底(2)之间的隐埋氧化物层(5,16,23),所述键合界面(3)通过分子粘附获得,其特征在于,所述方法包括用激光(7)所提供的光能流照射所述结构体(4),以使导向所述结构体的所述光能流由能量转化层(6)吸收并在该层中转化成热,并且,所述热朝向所述键合界面(3)扩散至所述结构体(4)中,由此使所述键合界面(3)稳定化。
地址 法国伯尔宁