检查结晶化的装置和方法

摘要

用于检查结晶化的装置包括：衬底，包括半导体层，半导体层包括彼此分离的多个结晶化区域；平台，被配置为改变衬底的位置，衬底放置在平台上；摄影单元，被配置为获取与半导体层有关的图像数据；检查单元，被配置为获取与半导体层有关的检查数据；以及控制单元，被配置为根据摄影单元所获取的图像数据输出与衬底的位置变化有关的变化数据。

主权项

一种用于检查结晶化的装置，所述装置包括：平台，被配置为改变衬底的位置，所述衬底放置在所述平台上并且包括半导体层，所述半导体层包括彼此分离的多个结晶化分离区域；摄影单元，被配置为获取与所述半导体层有关的图像数据；检查单元，被配置为获取与所述半导体层有关的检查数据；以及控制单元，被配置为根据所述摄影单元所获取的图像数据输出与所述衬底的位置的变化有关的变化数据。