用于收集晶片表面液滴的装置

摘要

本实用新型提出一种用于收集晶片表面液滴的装置，包括液滴收集腔和抽真空装置，所述液滴收集腔和所述抽真空装置通过连接管相连，在所述液滴收集腔正下方设置液滴收集管，所述液滴收集管的数量为五个，其中一个所述液滴收集管位于所述液滴收集腔正下方的中心位置，其余四个所述液滴收集管位于以所述液滴收集腔正下方的中心为圆心的圆周上。本实用新型用于收集晶片表面液滴的装置采用多根收集管并列同时使用，在确保收集管均匀分散排列的情况下即可扩大收集液滴的范围，保证液滴实现完全收集。

主权项

一种用于收集晶片表面液滴的装置，包括液滴收集腔和抽真空装置，所述液滴收集腔和所述抽真空装置通过连接管相连，在所述液滴收集腔正下方设置液滴收集管，其特征在于：所述液滴收集管的数量为五个，其中一个所述液滴收集管位于所述液滴收集腔正下方的中心位置，其余四个所述液滴收集管位于以所述液滴收集腔正下方的中心为圆心的圆周上。