基于介电泳的微小颗粒三维旋转的操作装置及其控制方法

摘要

本发明公开了一种基于介电泳的微小颗粒三维旋转的操作装置及其控制方法，其中，操作装置包括：绝缘基底；多个周向电极，多个周向电极间隔开地设置在绝缘基底的上表面上，多个周向电极之间形成有类空腔结构；底部电极，底部电极设置在绝缘基底的上表面上且位于类空腔结构内，底部电极在垂直于绝缘基底的上表面的方向上的高度低于多个周向电极的高度。该操作装置可以解决对微小颗粒在空间上进行三维旋转的技术难题，实现三维旋转，更加有利于对微小颗粒的观察和操作，提高了实验的精确度，使实验结果更加精确。

主权项

一种基于介电泳的微小颗粒三维旋转的操作装置，其特征在于，包括：绝缘基底；多个周向电极，所述多个周向电极间隔开地设置在所述绝缘基底的上表面上，所述多个周向电极之间形成有类空腔结构；以及底部电极，所述底部电极设置在所述绝缘基底的上表面上且位于所述类空腔结构内，所述底部电极在垂直于所述绝缘基底的上表面的方向上的高度低于所述多个周向电极的高度。