晶圆识别结构

摘要

本实用新型提出了一种晶圆识别结构，用于识别不同的晶圆，所述晶圆识别结构为形成于所述晶圆上的3D结构；在晶圆的边缘表面形成3D结构的晶圆识别结构，由于3D结构的晶圆识别结构能够携带不同晶圆的信息，并且3D结构不容易被薄膜掩埋，因此在晶圆形成完生产之后，依然能够通过晶圆识别结构准确识别不同的晶圆。

主权项

一种晶圆识别结构，用于识别不同的晶圆，其特征在于，所述晶圆识别结构为形成于所述晶圆上的3D结构，所述晶圆识别结构为若干阵列的长方体，所述长方体具有非均一的高度。