质量流量控制器的体积流量修正方法

摘要

本发明公开了一种质量流量控制器的体积流量修正方法，该方法包括以下步骤：1）向质量流量控制器输入参考真值，质量流量控制器接收参考真值，并将参考真值与第一修正系数拟合得到设定值；2）将设定值输入质量流量控制器，质量流量控制器根据设定值得到读取值，并将读取值与第二修正系数拟合得到并输出真值；第一修正系数和第二修正系数均通过设置于质量流量控制器之后的标准体积流量计输出的参考值确定。这样，通过第一修正系数和第二修正系数与参考真值的两次拟合，能够将质量流量控制器的质量流量修正为体积流量，从而避免由于质量流量漂移引起的测量误差，具有较高的控制精度，进而提高了标准气配气仪的配气精度。

主权项

一种质量流量控制器的体积流量修正方法，所述质量流量控制器后接入一标准体积流量计，该标准体积流量计用于提供参考值，其特征在于，包括以下步骤：1)向所述质量流量控制器输入参考真值，所述质量流量控制器接收所述参考真值，并将所述参考真值与第一修正系数拟合得到设定值；2)将所述设定值输入所述质量流量控制器，所述质量流量控制器根据所述设定值得到读取值，并将所述读取值与第二修正系数拟合得到并输出真值；所述第一修正系数和所述第二修正系数均通过设置于所述质量流量控制器之后的标准体积流量计输出的参考值确定；所述第一修正系数通过以下方法得到：向所述质量流量控制器中输入多个试验设定值，所述标准体积流量计输出与各所述试验设定值一一对应的多个试验参考值，将各所述试验设定值与各所述试验参考值进行线性或者曲线拟合得到所述第一修正系数；所述第二修正系数通过以下方法得到：向所述质量流量控制器中输入多个所述试验设定值，并得到多个与所述试验设定值一一对应的试验读取值，同时，所述标准体积流量计输出与各所述试验设定值一一对应的多个所述试验参考值，将各所述试验读取值与各所述试验参考值进行线性或者曲线拟合得到所述第二修正系数。