斜入射反射型点衍射板及其干涉测量方法

摘要

本发明公开了一种斜入射反射型点衍射板及其干涉测量方法。该点衍射板的基底采用折射率均匀的光学玻璃，且该光学玻璃为平行平板结构；所述基底的入射面上部镀有增透膜、下部镀有介质膜，基底的反射面上部镀有高反膜、下部镀有增透膜；所述入射面下部的介质膜内设有一个椭圆孔；所述基底反射面上部的高反膜在入射面上的投影与入射面下部的介质膜部分重叠，使反射面上部的高反膜只将入射光反射一次。干涉测量方法为：(1)调整点衍射板的位置，(2)用探测器采集载频干涉图，(3)对干涉图进行傅里叶变换处理恢复波前相位，(4)对恢复的相位进行Zernike拟合，(5)系统误差标定。本发明对激光瞬态波前检测的精度高、成本低，且测试过程简单方便。

主权项

一种斜入射反射型点衍射板，其特征在于，该点衍射板的基底采用折射率均匀的光学玻璃，且该光学玻璃为厚度为h的平行平板结构；所述基底的入射面上部镀有透过率为t₁的增透膜、下部镀有透过率为r₁的介质膜，基底的反射面上部镀有反射率为r₂的高反膜、下部镀有透过率为t₂的增透膜；所述入射面下部的介质膜内设有一个椭圆孔，该椭圆孔的中心到入射面上部增透膜的距离为d；所述基底反射面上部的高反膜在入射面上的投影与入射面下部的介质膜部分重叠，使反射面上部的高反膜只将入射光反射一次。