板级射频电流探头校准测量、频率标定方法及系统和装置

摘要

一种板级射频电流探头校准测量、频率标定方法及系统和装置，通过测量计算得到校准件测量段到板级射频电流探头的传输系数，根据传输系数及校准件的阻抗计算探头的校准因子。根据校准因子及板级射频电流探头的输出电压可以应用于测量流经板级导线的射频电流。通过确定校准因子对探头进行校准后再应用于测量，提高了探头的测量准确性。当初始电压的频率改变且流经校准件的电流保持为初始电流不变时，测量校准件在预设输入条件下从板级射频电流探头得到的输出电压。根据输出电压和初始校准因子反推校准件的输入电流，提取初始电流与输入电流相吻合的部分所对应的频率范围，对板级射频电流探头校准因子的适用频率范围进行标定，提高了标定准确性。

主权项

一种板级射频电流探头校准测量方法，其特征在于，包括以下步骤：向校准件的一端口输入初始电压；其中，板级射频电流探头固定设置在所述校准件的预设测量点上方；利用板级射频电流探头测量所述预设测量点的输出电压；根据所述初始电压和输出电压计算校准件测量段到板级射频电流探头的传输系数，所述校准件测量段为所述校准件与板级射频电流探头之间距离最近的部分；根据所述传输系数及所述校准件的阻抗计算所述板级射频电流探头的校准因子；根据所述校准因子测量待测的板级射频电流。