发明名称 |
一种管状钼靶材的制备方法 |
摘要 |
本发明提供了一种管状钼靶材的制备方法,包括以下步骤:一、将钼粉压制成钼管坯;二、采用两段烧结工艺,对钼管坯进行烧结处理;三、将烧结处理后的钼管坯进行加热,然后进行挤压加工,车削加工后得到管状钼靶材。本发明制备方法少切屑,生产效率高,钼管长度可调,并且具有明显的成本优势;本发明生产工艺流程短,金属损耗小,综合成品率高,能够方便、快捷、大量地生产溅射用管状靶材。 |
申请公布号 |
CN103978345A |
申请公布日期 |
2014.08.13 |
申请号 |
CN201410210033.9 |
申请日期 |
2014.05.17 |
申请人 |
金堆城钼业股份有限公司 |
发明人 |
朱琦;王林;王娜;杨秦莉 |
分类号 |
B23P15/00(2006.01)I;C23C14/34(2006.01)I;B22F3/16(2006.01)I;B21C23/00(2006.01)I |
主分类号 |
B23P15/00(2006.01)I |
代理机构 |
西安创知专利事务所 61213 |
代理人 |
谭文琰 |
主权项 |
一种管状钼靶材的制备方法,其特征在于,该方法包括以下步骤:步骤一、将钼粉压制成钼管坯;步骤二、对步骤一中所述钼管坯进行烧结处理,具体过程为:步骤201、一段烧结:将钼管坯竖直放置于烧结炉中,先升温至350℃~450℃后保温3h~4h,再升温至750℃~850℃后保温3h~4h,然后升温至1100℃~1250℃后保温3h~4h,之后升温至1400℃~1500℃后保温4h~6h,随炉冷却;步骤202、二段烧结:将步骤201中经一段烧结后的钼管坯倒置于烧结炉中,然后升温至1800℃~2000℃后保温5h~6h,随炉冷却;步骤三、将步骤202中二段烧结后的钼管坯在温度为1200℃~1300℃的条件下保温5min~30min,然后送入挤压机中,在挤压比为4.2~5的条件下进行挤压,经车削加工后得到管状钼靶材。 |
地址 |
710077 陕西省西安市高新区锦业一路88号 |