发明名称 |
一种板式PECVD装置用挂钩 |
摘要 |
本实用新型公开了一种板式PECVD装置用挂钩,包括挂钩本体和垫片,所述挂钩本体包括两个钩体,所述垫片的两端分别与两个所述钩体固定连接。当需要使用挂钩时,由于垫片的两端分别与两个钩体固定连接,直接将挂钩安装在石墨舟上使用即可。在本实用新型提供的挂钩中,由于垫片的两端分别与两个钩体固定连接,直接将挂钩安装在石墨舟上使用即可,有效地避免了在使用挂钩时,需要工作人员先将垫片安装在挂钩本体上才能使用的情况,降低了工作人员的劳动强度,省去了组合挂钩的时间,提高了板式PECVD的工作效率。 |
申请公布号 |
CN203768456U |
申请公布日期 |
2014.08.13 |
申请号 |
CN201320718989.0 |
申请日期 |
2013.11.13 |
申请人 |
海南英利新能源有限公司 |
发明人 |
符昌京;王庆森;许明金;蔡少坤;朱志文;王家道;盛峰;陈国文;王川 |
分类号 |
C23C16/458(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I |
主分类号 |
C23C16/458(2006.01)I |
代理机构 |
北京集佳知识产权代理有限公司 11227 |
代理人 |
魏晓波 |
主权项 |
一种板式PECVD装置用挂钩,包括挂钩本体和垫片(2),所述挂钩本体包括连接件和两个钩体(1),所述连接件的两端分别与两个所述钩体(1)固定连接,所述连接件上表面的宽度与所述钩体(1)上与所述连接件连接处宽度相等,所述垫片(2)上表面的宽度大于所述连接件上表面的宽度,其特征在于,所述垫片(2)的两端分别与两个所述钩体(1)固定连接。 |
地址 |
570000 海南省海口市国家高新区狮子岭工业园海南英利新能源有限公司 |