卷绕磁控溅射镀膜系统边框效应克服机构

摘要

本发明涉及的是卷绕磁控溅射镀膜系统边框效应克服机构，这种卷绕磁控溅射镀膜系统边框效应克服机构包括支架、联动挡板、托辊架，托辊架有可上下相对运动的滑动杆，联动挡板的两端各设置一支架，托辊架固定在支架上，托辊则安装在托辊架的滑动杆上端；联动挡板与托辊架之间安装连杆，连杆的上端与联动挡板活动连接，连杆的下端与托辊架的滑动杆活动连接；联动挡板由两片合叶组成，两片合叶由销钉连接在一起，可以相互张开或合拢。本发明结构简单，能有效的克服了带材镀膜过程中产生的边框效应，使得卧式磁控溅射镀膜系统的设计简约，容易实现，大大降低了系统的复杂性。

主权项

一种卷绕磁控溅射镀膜系统边框效应克服机构，其特征在于：这种卷绕磁控溅射镀膜系统边框效应克服机构包括支架（1）、联动挡板（7）、托辊架（2），托辊架（2）有可上下相对运动的滑动杆（6），联动挡板（7）的两端各设置一支架（1），托辊架（2）固定在支架（1）上，托辊（4）则安装在托辊架（2）的滑动杆上端；联动挡板（7）与托辊架之间安装连杆（5），连杆（5）的上端与联动挡板（7）活动连接，连杆（5）的下端与托辊架的滑动杆（6）活动连接；联动挡板（7）由两片合叶（3）组成，两片合叶（3）由销钉连接在一起，可以相互张开或合拢；所述的托辊架（2）由固定座和滑动杆（6）构成，固定座上设置有滑动孔，滑动杆（6）穿过滑动孔与固定座滑动连接，滑动杆（6）的上端为水平的托辊支撑杆，滑动杆（6）的下端为水平块，所述的连杆（5）对称设置在滑动杆（6）的两侧，并分别与水平块通过小轴活动连接。